short-stroke wafer stage.
Delen
Ook voor geavanceerde halfgeleiderproductiemachines telt naast de inhoud de behuizing. Wij hebben een korte-slag wafertafel ontworpen met een complex gevormde magnetische afscherming. Daarvoor hebben we een uitgekiend fabricageprocedé ontwikkeld.
korte slag, brede scope.
Voor een nieuwe machine die onder hoogvacuüm wafers belicht, hebben wij een korte-slag wafertafel ontwikkeld. Die moest voldoen aan strenge elektromagnetische eisen. Ook kwamen we met een speciale oplossing voor de metrologie: een metroframe dat positiemeting met feedback naar de waferpositionering mogelijk maakt. We hadden complete verantwoordelijkheid voor de korte-slag wafertafel inclusief de magnetische afscherming. Belangrijke aandachtspunten waren een assemblage- en servicevriendelijke bekabeling en minimale warmtedissipatie door de elektromotoren.
fabricage en kwalificatie.
Voor de magnetische afscherming hebben wij een complex gevormde, uiterst strak getolereerde cilinder als motoromhulling ontworpen. Samen met maakpartners hebben we er een uitgekiend fabricageprocedé voor ontwikkeld: platen van een geschikte nikkel-ijzerlegering lasersnijden, laserlassen en uitgloeien om alle mechanische spanning eruit te halen. We hebben de serieproductie, plus kwalificatie, verzorgd van de complete korte-slag wafertafel inclusief de bijzondere, magnetisch afgescheiden behuizing.
“de prestaties van de wafertafel hebben wij telkens kunnen verbeteren.”
In het project hebben wij ontwerpoptimalisatie gecombineerd met kostenbeheersing. Bij elk onderdeel maakten we de afweging tussen technische specificatie en kostprijs. De reinheid van de onderdelen was daarbij vanwege de werking in vacuüm een belangrijke factor. Ook de integratie van onze module in de machine van de klant was een aandachtspunt.