vacuümtransferlijn.
Delen
Onderzoekers die nieuwe materialen opbouwen door het deponeren van dunne lagen, willen daar vaak meerdere depositietechnieken voor kunnen gebruiken. Wij hebben een vacuümtransferlijn ontwikkeld waarop zij verschillende depositie-apparaten kunnen aansluiten. Dat geeft hun meer mogelijkheden om ‘slimme’ en energiezuinige materialen te ontwikkelen.
contaminatie voorkomen.
Op onze vacuümtransferlijn kunnen onderzoekers hun vacuüm- en lagedruksystemen voor depositieprocessen zoals PLD, ALD en sputteren aansluiten. Meetinstrumenten kunnen er ook aan worden gekoppeld en de lijn is compatibel met toebehoren zoals sample-platforms en heaters. Met een speciale vacuümkoffer kunnen samples in de lijn worden gebracht. Samples worden in het transportsysteem onder hoog vacuüm overgebracht van de ene proceskamer naar de andere. Dat voorkomt contaminatie van het materiaal en daarmee kwaliteits- of functieverlies van het sample. In sommige gevallen is het essentieel dat kwetsbare materialen niet worden blootgesteld aan atmosferische omstandigheden.
regeling en smering.
De vacuümtransferlijn is modulair opgebouwd en kan een lengte tot tien meter krijgen, met aansluitingen voor maximaal zes systemen. In de transportbuis heerst een ultrahoog vacuüm met een basisdruk lager dan 10–9 mbar. De regeling en smering van de gemotoriseerde aandrijving van het transportsysteem vormden uitdagingen bij de ontwikkeling van de lijn. Een uitgekiende regeling voorkomt instabiliteit in druk en vacuüm ten gevolge van de bewegingen. Vanwege de benodigde hoge temperaturen voor het uitstoken van de hoogvacuümbuis was een kunststof als teflon niet geschikt voor de smering. Daarom is een molybdeensulfidelaag als droge smering aangebracht.
“wij zijn een systeemintegrator voor dunnefilmprocessen en meetinstrumenten.”
Wij hebben steeds meer klanten die verschillende depositietechnieken willen gebruiken. Daarmee kunnen ze ingewikkelde materialen met verschillende lagen maken, om nieuwe eigenschappen te kunnen ontwikkelen. Met onze transferlijn spelen we in op die behoefte. Gebruikers kunnen er dunnefilmprocessen van ons en van andere leveranciers op aansluiten en daarnaast ook diverse meetinstrumenten. Zo positioneren we ons als een systeemintegrator.