short-stroke wafer stage

Research en industrie stellen steeds hogere eisen aan kwaliteitscontrole, analyse en modellering. Dat vraagt om geavanceerde metrologiesystemen voor het inspecteren van (oppervlakken van) componenten of het uitlijnen van precisiesystemen. Wij ontwikkelen metrologische oplossingen voor onderzoek en productie, met inzet van hoogwaardige signaalbewerking en kunstmatige intelligentie.
Innovatie in de metrologie zorgt voor steeds hogere meetnauwkeurigheid en maakt optische non-contactmeting en geautomatiseerde 100% inspectie mogelijk. Wij ontwikkelen en bouwen metrologiesystemen zoals meetmachines, optische scanners en automatische inspectiestations. Daarvoor benutten we onze brede expertise van mechatronica, machinebouw, optische metrologie en kunstmatige intelligentie. Zo kunnen we uiteenlopende oppervlakken scannen met nauwkeurige positionering en optiek. We ontwikkelen slimme analyse-algoritmes om maximale informatie uit de beelden te halen.
Wij combineren onze expertise van nauwkeurig bewegen en positioneren met diepgaande optische kennis. Daarmee behalen we micrometer- en zelfs nanometerprecisie. Dat doen we in het lab en ook in de industriële praktijk, bijvoorbeeld voor het meten aan vrijevorm optische oppervlakken of complexe halfgeleidercomponenten.
Additive manufacturing (3D-printen) biedt producenten een ongekende ontwerpvrijheid. Die..
Delicate materialen en producten zoals chips, wafers, fibers, films, folies en membranen..
Bij kwaliteitsbewaking in productie speelt inspectie een steeds grotere rol. Voor...
De wetenschap ontwikkelt geavanceerde methoden voor het analyseren van de samenstelling...
Hightech systemen moeten complexe functionaliteit verzorgen en daarbij aan de hoogste...
De wet van Moore dicteert nog altijd het tempo in de halfgeleiderindustrie...
Onderzoekers behalen in het lab spectaculaire resultaten met dunne-filmtechnologie voor...
In tal van hightech systemen en processen beïnvloeden thermische effecten de kwaliteit...
Veel hightech systemen werken met (ultra-hoog) vacuüm om gevoelige processen optimaal...